威尼斯人棋牌-威尼斯欢乐娱人城-首页

一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法与流程技术资料下载

技术编号:24940722

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法,提供了一种湿法腐蚀后不发生形变、避免对准失效的对准标记设计方法和对准方法,尤其适用于石英微机械三维结构长时间湿法腐蚀后的对准操作。背景技术石英单晶具有优良的温度特性、化学稳定性、机械弹性和高品质因数,在mems领域的各种行业有广泛的应用。石英单晶的刻蚀工艺中,化学湿法腐蚀具有批量制造、成本低的特点,是目前应用最广泛的石英刻蚀工艺。同时石英单晶z向湿法腐蚀速率较高,石英微机械三维结构加工一般采用z切石英单晶。石英晶体具有复杂的晶向,侧壁腐蚀形...
该技术已申请专利,请敬重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

威尼斯人棋牌|威尼斯欢乐娱人城

XML 地图 | Sitemap 地图